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otsukael積分光度計

otsukael積分光度計除了可以進行高精度薄膜分析的分光橢圓偏光法外,它還通過實現自動可變測量角度機構來兼容所有類型的薄膜。除了傳統的旋轉分析器方法外,還通過為延遲板提供自動安裝/拆卸機構提高了測量精度。

  • 產品型號:SLS-6500HL
  • 廠商性質:經銷商
  • 更新時間:2025-06-26
  • 訪  問  量:3762
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  otsukael靜態光散射光度計 積分光度計SLS-6500HL的介紹
 
  除了可以進行高精度薄膜分析的分光橢圓偏光法外,它還通過實現自動可變測量角度機構來兼容所有類型的薄膜。除了傳統的旋轉分析器方法外,還通過為延遲板提供自動安裝/拆卸機構提高了測量精度。
 
  特征:
 
  可在紫外-可見(300 至 800 nm)波長范圍內測量橢圓參數
 
  能夠分析納米級多層薄膜的膜厚
 
  通過 400 通道或更多通道的多通道光譜快速測量橢圓光譜
 
  支持通過可變反射角測量對薄膜進行詳細分析
 
  通過創建光學常數數據庫和添加配方注冊功能提高可操作性
 
  測量項目
 
  橢圓參數(tanψ,cosΔ)測量
 
  光學常數(n:折射率,k:消光系數)分析
 
  膜厚分析
 
  測量對象
 
  半導體ウェーハ
 
  ゲート酸化薄膜,窒化膜
 
  SiO2,SixOy,SiN,SiON,SiNx,Al2O3,SiNxOy,poly-Si,ZnSe, BPSG,TiN
 
  レジストの光學定數(波長分散)
 
  化合物半導體
 
  AlxGa(1-x)As 多層膜,アモルファスシリコン
 
  FPD
 
  配向膜
 
  各種新素材
 
  DLC(Diamond Like Carbon),超伝導用薄膜,磁気ヘッド薄膜
 
  光學薄膜
 
  TiO2,SiO2,反射防止膜
 
  リソグラフィー分野
 
  g線(436nm),h線(405nm),i線(365nm)などの各波長におけるn,k評価
 
 
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