haradacorpVUV真空紫外線電離器 光照射型L10706

haradacorpVUV真空紫外線電離器 光照射型L10706

減壓靜電消除技術

VUV (Vacuum Ultraviolet) Ionizer L10706 是可以解決半導體、FDP 等制造過程中惰性氣體或減壓環境中的靜電問題的靜電消除系統。與光照射型光電離子發生器一樣，不存在電極產生灰塵的問題，可以實現干凈的靜電消除。此外，緊湊的光源和SUS軟管增加了自由度，可以將其安裝在設備的狹窄空間或靠近物體的地方。

特征

• (1) 可就近安裝

• 采用緊湊型光源和 SUS 軟管，增加了安裝自由度。

• (2) 剩余電位為0V

• 由于正負離子和電勢在空間均勻分布，所以被除靜電物體的殘余電勢為0V。

• (3) 無氣流依賴性

• 在紫外線照射法中，由于氣體在寬范圍內被離子化，因此無論氣體的流動狀態如何，都可以獲得穩定的靜電消除性能。

• (4) 無電磁噪音

• 由于使用紫外線照射的電離系統，不會產生電磁噪聲。

• (6) 免維護

• 無需離子平衡調整等日常維護。只有氘燈需要更換。

光照射型

使用光電離的靜電消除器

VUV（真空紫外線）電離器 L12542

減壓靜電消除技術

VUV (Vacuum Ultraviolet) Ionizer L12542 是可以解決半導體、FDP 等制造過程中惰性氣體或減壓環境中的靜電問題的靜電消除系統。與光照射型光電離子發生器一樣，不存在電極產生灰塵的問題，可以實現干凈的靜電消除。

特征

• (1) 減壓下的最大效果

• 由于壓力降低時離子的平均自由程變長，因此靜電消除性能進一步增強。

• (2) 剩余電位為0V

• 由于正負離子和電勢在空間均勻分布，所以被除靜電物體的殘余電勢為0V。

• (3) 無氣流依賴性

• 在紫外線照射法中，由于氣體在寬范圍內被離子化，因此無論氣體的流動狀態如何，都可以獲得穩定的靜電消除性能。

• (4) 無電磁噪音

• 由于使用紫外線照射的電離系統，不會產生電磁噪聲。

• (5) 適用于任何制造設備

• 該系統僅由三點組成：氘燈、電源裝置和法蘭。易于連接到制造設備和運輸隧道。

• (6) 免維護

• 無需離子平衡調整等日常維護。只有氘燈需要更換。

光離子化系統“Photoionizer"使用清潔離子生成方法“Photoionization"。與傳統的電暈放電方法不同，我們實現了不會產生“灰塵、電磁噪聲或臭氧"的清潔靜電消除。此外，由于離子生成平衡，因此不會發生反向充電。由于帶電物體附近的分子被電離以消除靜電，因此消除靜電的效率，可以瞬間消除高速運動物體和粉末的靜電，這在以前是困難的。是從“對象"、“速度"、“環境"、“可靠性"等方面解決靜電消除問題的靜電消除系統。

無需鼓風機

在弱X射線照射的整個范圍內不斷產生離子。由于帶電物體附近產生的離子直接有助于靜電消除，因此無需通過吹氣來傳送離子。也可以去除輕質部件和粉末的靜電。

高離子濃度

在電暈放電型的情況下，電極附近的區域是產生離子的區域，而在弱X射線照射方法中，整個照射區域都是離子產生區域，這提高了靜電消除的效率。靜電消除時間也縮短了。

無反向充電

在弱X射線照射型中，同時產生等量的“正"離子和“負"離子，因此不會發生反向帶電。如果產生的離子平衡不平衡，只有其中一個離子會繼續大量存在，造成相反的電荷。沒有像電暈放電型那樣的“正"或“負"調整。

無需清洗電極

對于電暈放電型，灰塵會粘附在電極上并降低除電效果，因此需要經常清潔電極。光電離子發生器無需長時間維護，可保持較高的靜電消除效果。

測量條件

充電電壓：1 kV 至 100 V（無吹風，溫度 26°C，相對濕度 50%）
充電板（150 x 150 mm，20 pF）