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技術(shù)文章/ article
更新時(shí)間：2024-03-19 
瀏覽次數(shù)：383WONIK QnC創(chuàng)立于1983年，是一家專(zhuān)門(mén)制造和供應(yīng)生產(chǎn)半導(dǎo)體晶圓所使用的石英部件
和生產(chǎn)半導(dǎo)體及顯示器所使用的陶瓷部件的復(fù)合材料零部件專(zhuān)業(yè)公司。
ISO 9001, 14001, 27000, 45001
擁有大型三維測(cè)量?jī)x(4000x1600)和300mm Zygo干涉儀
擁有原料, 材料, 加工等所有陶瓷生產(chǎn)設(shè)備及工藝
ESC, AlN Heater, pBN 高溫 ESC, Pulse Heater, Wafer Table
客戶(hù)定制式產(chǎn)品 (設(shè)計(jì)模擬, 制作, 評(píng)估)
通過(guò) Hot press 燒結(jié)生產(chǎn)高品質(zhì)陶瓷材料
ESC repair 技術(shù)
超精密表面形狀控制技術(shù)
| Item | Unit | AW100H | AS250H | |
|---|---|---|---|---|
| Color | - | Right gray | Black | |
| Relative density | % | ≥ 99.7 | ≥ 99.0 | |
| Dielectric constant (1MHz) | F/m | 10.5 | 11 | |
| Dielectric loss (1MHz) | - | 2 X 10-3 | 2 X 10-3 | |
| Volume resistivity | RT | Ω•cm | 2 X 1016 | 1 X 1016 |
| Bending strength | MPa | ≥ 500 | ≥ 500 | |
| Vickers hardness | HV | ≥ 1800 | ≥ 2100 | |
設(shè)計(jì)并制造可以快速升溫和冷卻的熱線
通過(guò)控制結(jié)構(gòu)制造高密度和高熱導(dǎo)度的
AlN陶瓷燒結(jié)體
通過(guò)超精密加工技術(shù)實(shí)現(xiàn)高平坦度和高平行度
| Properties | Single-Zone | Multi-Zone |
|---|---|---|
| Use Temperature (℃) | >400℃ | >400℃ |
| Heating Rate (℃/sec) | 200 | 40 |
| Cooling Rate (℃/sec) | 100 | 10 |
| Thermal Conductivity (W/m·K) | 200 | 200 |
| Uniformity (@400℃) | <3℃ | <10℃ |
| Size (mm) | 12, 16, 22 | 50, 60, 70, 120 |
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